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ASM 390 和 ASM 392 是理想的泄漏檢測解決方案，可用于半導(dǎo)體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求高的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空時間和高靈敏度。兩種型號都符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。 這些檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產(chǎn)設(shè) 備的停機(jī)時間。

氦質(zhì)譜檢漏儀配件 不論多大或多小的泄漏都逃不過真空檢漏儀的檢測。不管是水、油、燃料、制冷劑、氣體、蒸汽、空氣或是真空的泄漏都能使用檢漏儀進(jìn)行檢測。從微型電子裝置到體積龐大的容器，從真空系統(tǒng)逸出的介質(zhì)到進(jìn)入真空系統(tǒng)的氣體，檢漏儀所使用的范圍與普通工業(yè)產(chǎn)品的使用范圍一樣廣。普發(fā)真空檢漏儀能解決所有這些類型的要求。

德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊型多用途檢漏儀 我們的 ASM 340 檢漏儀確保在真空或吸槍泄漏檢測方面針對各種應(yīng)用都具有（從維修到小型生產(chǎn)環(huán)境）頂級性能。這些可靠的檢漏儀可用于泄漏的定性以及定量的整體或局部測試。它們能提供定性化泄漏檢測的檢漏儀，在進(jìn)氣口壓力100 hPa就能進(jìn)行檢測。ASM 340 以其強(qiáng)大的抽送系統(tǒng)為特征，且具有油式和干式兩個版本。

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM310 是我們?yōu)橐苿有云鹬P(guān)鍵作用的維護(hù)工作的任何要求而推出的一款產(chǎn)品?？紤]到這些應(yīng)用，重要的是所用的檢漏儀是緊湊、輕型以及便攜式的。 ASM 310 便攜式檢漏儀，其重量為 21 kg，要比傳統(tǒng)的裝置更輕。它所具有的通用電源接頭，使之可以用于全球范圍。一個用于增強(qiáng)移動性的專用手推車和一個運(yùn)輸箱作為附件，使所述裝置甚至可被帶上飛機(jī)，特別是在需要由維修工程師來開展泄漏檢測。