普發(fā)真空ADH 系列多級羅茨干式真空泵

用于最新工藝應(yīng)用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列專門為太陽能、半導(dǎo)體和 LED 市場的苛刻工藝應(yīng)用而開發(fā)，為N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。

半導(dǎo)體： H2 高抽速

ADH系列產(chǎn)品性能為您的工藝帶來以下優(yōu)勢：

• ALD工藝處理量：小分子氣體的高抽速效率可以允許更快的在工藝步驟之間排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合苛刻的工藝規(guī)范。

太陽能和LED：氫氣準(zhǔn)備就緒

ADH系列為太陽能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供最佳的氫氣抽送效率。

無中間維護(hù)

所有軸承均經(jīng)過了油潤滑，不需要現(xiàn)場維護(hù)。通過改善粉末耐受性和冷凝管理，實(shí)現(xiàn)了較長的維護(hù)間隔以及泵壽命延長，這意味著降低了運(yùn)行成本。

對工藝副產(chǎn)物的高耐受性

泵配備雙重溫度控制的水冷回路和集成的熱氮吹掃，以防止粉末積聚或冷凝。強(qiáng)大的電機(jī)可以處理大量粉末，保證良好的重啟能力。此外，精心挑選的材料可以承受腐蝕性化學(xué)清洗劑。ADH系列采用全新的監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行升級，其功能有助于提高工藝可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于該工藝時(shí)，智能模式可通過降低功率和氮消耗降低運(yùn)行成本。得益于優(yōu)化的設(shè)計(jì)，泵在同級抽送性能水平中可提供市場上最佳的功耗。優(yōu)化的設(shè)計(jì)還可以降低發(fā)熱量，從而降低冷卻水流量。

堅(jiān)固、安全

ADH系列的設(shè)計(jì)和材料能夠承受極大的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)部壓力應(yīng)力。這確保在用于運(yùn)行爆炸性氣體（如氫氣和硅烷）的應(yīng)用時(shí)具有安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體 平板顯示器 太陽能電池 LED

客戶受益

■ 高達(dá)4,500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有較高的性能

  使用50和60Hz電源具有相同的性能

■ 得益于潤滑的軸承以及對工藝副產(chǎn)品的高耐受性，具有較長的維護(hù)間隔

■ 低功率和低耗水量實(shí)現(xiàn)低COO

■ 由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力，從而增加了安全性

普發(fā)真空ADH系列多級羅茨干式真空泵技術(shù)參數(shù)：