發(fā)布時(shí)間： 2024-06-21 點(diǎn)擊次數(shù)： 459次
普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵，它采用渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)來(lái)產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。其工作原理基于分子動(dòng)量傳遞和離心力。當(dāng)渦輪葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體分子受到離心力的作用，從進(jìn)口處進(jìn)入葉片間隙，并在葉片之間碰撞和擴(kuò)散。由于葉片的形狀和排列，氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動(dòng)，逐漸增加速度和動(dòng)能。最終，氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處，并排入真空系統(tǒng)中。
1、多種優(yōu)點(diǎn)
清潔無(wú)油蒸汽返流：渦輪分子泵在操作過(guò)程中，可以為被抽容器提供極為清潔的真空環(huán)境，且不含有碳?xì)浠衔锏奈廴尽?/div>
使用方便：許多應(yīng)用中，渦輪分子泵可以不用高真空或粗真空閥，只需簡(jiǎn)單按電鈕即可開始工作。
氣體輸送能力強(qiáng)：特別對(duì)輕氣體如氫、氦有強(qiáng)大的輸送能力，適用于富氫的工藝過(guò)程。
適于超高真空應(yīng)用：一臺(tái)密封和除氣良好的渦輪分子泵，配備性能良好的干式前級(jí)泵，其極限真空可達(dá)到10^-10 Torr。
高壓力下性能良好：有些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-1^Torr之間運(yùn)行。
循環(huán)時(shí)間短：多數(shù)渦輪分子泵，尤其是小一些的，從關(guān)閉狀態(tài)到正常運(yùn)行速度的時(shí)間一般只需幾分鐘。
2、工作原理
渦輪分子泵通過(guò)動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列，利用傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)，使氣體分子從左側(cè)穿過(guò)葉片到達(dá)右側(cè)的幾率大于反向，從而產(chǎn)生抽氣作用。
2、高性能特點(diǎn)
壓縮比：渦輪分子泵的壓縮比與泵的級(jí)數(shù)、轉(zhuǎn)速以及氣體種類有關(guān)。例如，對(duì)氮（或空氣）的壓縮比可達(dá)10^8^至10^9^，對(duì)氫為10^2^至10^4^，對(duì)重氣體如油蒸氣則大于10^10^。
工作壓力范圍廣：泵的極限壓力為10^-9^帕，工作壓力范圍為10^-1^至10^-8^帕。
抽速大：渦輪分子泵的抽速范圍為幾十到幾千升每秒。
4、先進(jìn)技術(shù)應(yīng)用
磁懸浮技術(shù)：現(xiàn)代渦輪分子泵多采用磁懸浮軸承，這種軸承不用潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)完q無(wú)油化，軸承壽命長(zhǎng)，振動(dòng)與噪音低，且泵可以任意角度安裝。
高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵由轉(zhuǎn)速為10,000至60,000轉(zhuǎn)/分的中頻電動(dòng)機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。
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