普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，是一款能提供定性化泄漏檢測的檢漏儀，在進氣口壓力100hPa就能進行檢測。德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀ASM340以其強大的抽送系統(tǒng)為特征，且具有油式和干式兩個版本。易操作性、超快的響應(yīng)時間以及較短恢復(fù)時間都是此等緊湊型多用途裝置的凸出特征。即使是在最嚴(yán)苛的檢測條件下，ASM340都是用于日常檢測的解決方案。

　　是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵進氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進行校準(zhǔn)，如果不能單獨校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀將僅需兩個按鈕的簡便操作同先進的專業(yè)系統(tǒng)智能結(jié)合起來。質(zhì)譜儀與真空系統(tǒng)的結(jié)合提供了強大的性能，能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法。氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛的選項帶來了巨大的配置靈活性，極富活力的設(shè)計創(chuàng)意令氦質(zhì)譜檢漏儀能夠在嚴(yán)苛的環(huán)境中可靠地運行，滿足苛刻的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。