磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列

簡(jiǎn)要描述：Osaka復(fù)合分子泵使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長(zhǎng)。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列

產(chǎn)品型號(hào)： TG390M/TG2400M

所屬分類：干式真空泵

更新時(shí)間：2024-06-18

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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詳情介紹

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長(zhǎng)。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。

TG-M系列磁懸浮分子泵產(chǎn)品型號(hào)：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。

特點(diǎn)：

任意方位安裝
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
分子泵停止與啟動(dòng)時(shí)間短
附帶維護(hù)警報(bào)機(jī)能
低振動(dòng)
無需調(diào)整
自動(dòng)校準(zhǔn)
可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE

應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造

電子槍排氣，離子源排氣

FPD制造

表面處理，表面改質(zhì)

各種電子部件的制造

分析，試驗(yàn)裝置

管球制造，光學(xué)部件制造

加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

熱處理

研究開發(fā)

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列技術(shù)規(guī)格：

型號(hào)		TG390M	TG420M	TG900M	TG1300M	TG2400M
法蘭	吸氣口ISO-R/CF	100	160	160	200	250
法蘭	排氣口	KF25	KF25	KF40	KF40	KF40
排氣速度	N2（附加金屬過濾網(wǎng)）	320L/s	370L/s	860L/s	1230L/s	2300L/s
排氣速度	H2	290L/s	300L/s	1050L/s	1200L/s	1100L/s
大壓縮比	N2	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸
大壓縮比	H2	4.3×10³	4.5×10³	1.5×10⁴	1.5×10⁴	1.5×10³
極限壓力	ISO-R/CF	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa
可達(dá)氣體流量	N2（sccm）	2000	2000	3000	3000	3000
推薦輔助泵		≥160L/min	≥160L/min	≥250L/min	≥250L/min	≥500L/min
容許輔助壓力		400Pa	400Pa	500Pa	500Pa	200Pa
重量Kg	ISO-R/CF	14/17	14/17	34/42	34/42	45/54